PINUS1-B

关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

形貌:曲驱机电构造,全新的IO模块,具有先辈的防碰撞珍爱功用及输入旌旗灯号收硬件中止功用,具有SEMI认证。知足个性化设想支撑用户定制,手臂长度可选,可为客户供应接口及末尾定制效劳。

简介

Introduction

曲驱机电构造具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,体系运转的安稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户能够凭据需求设置成互锁,传感器检测等功用。输入旌旗灯号收硬件中止功用,轻易客户设置AWC等位置锁存功用运用。带有安全区设置功用和敏捷的碰撞珍爱功用,削减用户误操纵致使的种种丧失。带有大屏幕机器人示教器,轻易调试职员运用,并支撑热插拔功用。能够凭据客户运用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴路程,耐高温耐侵蚀特性等。


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参数

Parameter


本体重量Body Weight50KG
实用晶圆尺寸Wafer Size300mm/200mm/150mm/125mm/100mm
负载Payload1KG
电源输入Power SupplyAC电压:100-240V    AC频次:50HZ/60HZ
节奏Bear4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,凭据手指质料,传输位置差别相干)
静态偏向改正精度(AWC)±0.1mm
反复定位精度RepeatabilityZ: ±0.05mm(3σ)
T: ±0.003°(3σ)
R: ±0.05mm(3σ)
漏率Leak rate<  1 x 10E-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure5X10-9Torr

实用温度 Applicable  temperature

法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃

清洁度Clean Class

ISO  CLASS1

MCBF

>1100million cycles

复合活动 Compound  motion

支撑Support
PC近程操纵软件支撑Support
通讯接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互锁IO interlock

支撑Support

安全区Safe area

支撑Support

碰撞珍爱Collision  protection

支撑Support