SRBZ1440A

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:接纳磁流体密封手艺,网络化控制系统,具有先辈的防碰撞珍爱功用及静态纠偏功用,具有SEMI认证,MCBF大于1000万次,同时具有超高清洁度,耐高温、耐侵蚀,负载能力强等特性。知足个性化设想支撑用户定制,负载、手臂长度可选,可为客户供应接口及末尾定制效劳。是大负载真空机械手的优胜之选。

简介

Introduction

大负载真空机械手, LED芯片制造范畴的真空机械手产物,重要用于LED芯片制造历程中,实现装有大量LED晶圆的托盘正在各个工艺腔室间的传送,具有真空度下,负载大,传输效力下,耐高温等特性,大大进步了LED芯片消费制造的良率和效力,是LED芯片制造设备的要害产物。传统的LED芯片制造接纳集成电路制造造程运用的真空机械手,其负载才能只要1kg。本产物正在集成电路制造用真空机械手的基础上,针对其大负载需求,立异了其传输构造和掌握规律,使其可以或许到达20.5kg的负载才能,同时连结很小的占用体积,连结下耐真空度及清洁品级。


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参数

Parameter


构造情势Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驱动体式格局Driving method伺服机电Servo Motor
脚数目Number of Arm单臂Single Arm
负载Payload称号name托盘Tray
直径diameterΦ710mm
重量weight≤10.5kg
自由度数DOF3
手臂长度Arm Length355mm

手指长度(安装中央至硅片中央)

Finger  length(distance from install center to wafer center)
765mm

活动局限

Moving  Range
Z轴Z-axis

150mm

R轴,机械手扭转中央至工艺腔中央 R-axis, robot center to process chamber center极限(Ultimate)1440mm
θ轴θ-axis有限回转Infinite Rotation

齐路程最小工夫

Minimum running time
Z轴Z-axis1s/35mm
R轴R-axis5s/伸出或缩回Extend or Retraction
θ轴θ-axis5s/180°

反复定位精度

Repeatability
θ轴(°)θ-Axis±0.01(3σ)
R轴(mm)R-Axis±0.1(3σ)

机械手带φ710mm负载后最小回转直径

Robot  minimum turning diameter with Φ 710 mm load
1530mm

伸出1440mm负载直径710mm最前端下垂量

The  front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load
5.5mm
反复定位精度Repeatability±0.2mm
耐真空度Base Pressure (Pa)10­-6Pa
重量Weight机械手本体Main-body100kg
控制器Controller15kg
碰撞珍爱Collision Protect Function

盘片和机械手无毁伤/工位需从新校准
             Disc  and robot without damage/need  to recalibrate position